红外与激光工程, 2003, 32 (1): 57, 网络出版: 2006-04-28   

基于PSD的二维定心激光扫描器摆角测量系统

Deflection angle measurement system using PSD for a 2 DOF laser scanner
作者单位
清华大学精密仪器系,北京,100084
摘要
介绍了二维定心激光扫描器的工作原理和结构设计,描述了采用光电位置敏感探测器(PSD)实现的二维摆角测量系统,比较了两种不同测量方式的优劣,包括数学模型、计算公式和光学系统构造.给出了PSD信号处理电路框图,设计了消除暗电流和杂散光干扰的采样-保持电路,并对系统位移做了标定.系统可以实现30°圆锥角的大范围二维摆角测量,角分辨率达0.01°,具有实时性强、工作稳定、抗环境干扰能力强等优点.
Abstract
The basic principle and structural design of 2 DOF tip/tilt laser scanner are introduced. Two different methods to measure the 2 DOF deflection angle of the scanner are discussed, including their mathematical models, computing expression and optical systems. The aspects of PSD output signal processing circuit and sample-hold circuit to eliminate the environmental noise are presented. Displacement calibration demonstrates that the system can reach a wide measurement range of 30° and angle resolution of 0.01° as well as fast response and high stability.

程继伟, 巩马理, 贾维溥, 刘兴占, 闫平, 张海涛. 基于PSD的二维定心激光扫描器摆角测量系统[J]. 红外与激光工程, 2003, 32(1): 57. 程继伟, 巩马理, 贾维溥, 刘兴占, 闫平, 张海涛. Deflection angle measurement system using PSD for a 2 DOF laser scanner[J]. Infrared and Laser Engineering, 2003, 32(1): 57.

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