光子学报, 2005, 34 (6): 927, 网络出版: 2006-06-12   

固体浸没透镜飞行高度的气浮控制

Flying Height Control of Solid Immersion Lens by Slipstream
作者单位
1 中国科学院西安光学精密机械研究所瞬态光学技术国家重点实验室,西安,710068
2 中国科学院研究生院,北京,100039
3 西北大学光子学与光子技术研究所,西安,710069
4 西安交通大学电子科学与技术系,西安,710049
摘要
采用固体浸没透镜的光存储方法是提高光存储密度的比较实用的近场光存储方法,而严格控制SIL下底面与光存储介质之间的亚波长级距离是此光存储系统正常工作的前提.本文采用电容法测量SIL的飞行高度,采用弹性悬臂将SIL加载在转盘表面上,转盘以不同速度转动时SIL将悬浮在不同的高度.计算机首先采集到SIL的飞行高度信息,再与设定的飞行高度作比较,根据比较结果调整转盘转速,从而达到调整SIL飞行高度的目的.采用此方法,可以动态地将SIL的下底面控制在距高速转动的转盘表面上150~600 nm范围内的一定高度上.
Abstract
To use solid immersion lens is one of the practical methods to realize the near-field high-density optical data storage. But the storage system will work only on the condition that the distance between the bottom of the SIL and the surface of media is exactly controlled within the sub-wavelength scale. In this letter the flying height of the SIL is measured by the capacity between the SIL and the disc, and the SIL fixed in flying head is loaded on the surface of the rotating disc by flexible cantalever. The SIL will fly at different height with the different rotating speed of the disc. When it works, a computer is used to detect the flying height of the SIL, and after comparing this result with the preset value, it controls the disc to accelerate or decelerate, and this will result in adjusting the flying height of the SIL. In this way a certain height within the scale of 150~600 nm of the flying height over the disc surface is dynamically controlled when the disc is rotating in high speed.

冯晓强, 贺锋涛, 张东玲, 白永林, 侯洵. 固体浸没透镜飞行高度的气浮控制[J]. 光子学报, 2005, 34(6): 927. 冯晓强, 贺锋涛, 张东玲, 白永林, 侯洵. Flying Height Control of Solid Immersion Lens by Slipstream[J]. ACTA PHOTONICA SINICA, 2005, 34(6): 927.

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