红外与激光工程, 2006, 35 (3): 294, 网络出版: 2006-10-20   

HgCdTe液相外延薄膜生长及缺陷表征

Growth and defects characterization of HgCdTe film grown by LPE method
作者单位
中国科学院上海技术物理研究所,上海,200083
摘要
液相外延是制备HgCdTe薄膜材料的一项成熟技术,大尺寸的外延薄膜是研制HgCdTe红外焦平面列阵的基础.探讨了尺寸为30 mm×40 mm的HgCdTe液相外延薄膜生长技术,用红外透射光谱和X光貌相技术对材料进行了评价.并对HgCdTe薄膜表面的黑点缺陷、波纹起伏等特征形貌进行了讨论,指出黑点缺陷是杂质粒子在薄膜表面形成的包裹体,而表面波纹是由生长母液中的对流引起的.
Abstract

魏彦锋, 陈新强, 曹妩媚. HgCdTe液相外延薄膜生长及缺陷表征[J]. 红外与激光工程, 2006, 35(3): 294. 魏彦锋, 陈新强, 曹妩媚. Growth and defects characterization of HgCdTe film grown by LPE method[J]. Infrared and Laser Engineering, 2006, 35(3): 294.

本文已被 3 篇论文引用
被引统计数据来源于中国光学期刊网
引用该论文: TXT   |   EndNote

相关论文

加载中...

关于本站 Cookie 的使用提示

中国光学期刊网使用基于 cookie 的技术来更好地为您提供各项服务,点击此处了解我们的隐私策略。 如您需继续使用本网站,请您授权我们使用本地 cookie 来保存部分信息。
全站搜索
您最值得信赖的光电行业旗舰网络服务平台!