光子学报, 2004, 33 (4): 439, 网络出版: 2006-10-25
一种MEMS可调光衰减器性能测试及动态响应分析
摘要
一种基于微细电火花加工(EDM)技术的非硅基MEMS可调光衰减器,以电磁线圈驱动微反射镜.本文介绍该器件特性测试及动态响应分析,结果表明,驱动电压为0～8 V,工作范围0～35 dB,动态响应时间为2 ms,插入损耗小于0.8 dB,回波损耗小于-50.5 dB.
Abstract
袁野, 曹钟慧, 鲍俊峰, 邹勇卓, 吴兴坤. 一种MEMS可调光衰减器性能测试及动态响应分析[J]. 光子学报, 2004, 33(4): 439. 袁野, 曹钟慧, 鲍俊峰, 邹勇卓, 吴兴坤. [J]. ACTA PHOTONICA SINICA, 2004, 33(4): 439.
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