光电工程, 2006, 33 (6): 106, 网络出版: 2007-11-14
误差扩散法编码设计制作微光学元件
Fabrication of micro optical elements with coding gray-tone mask designed by error-diffusion method
摘要
以发展微光学元件制作新方法为目标,提出利用误差扩散编码方法设计灰阶编码掩模制作微光学元件.此方法同其他编码方法相比,具有量化效果好、衍射效率高、制作文件小、计算速度快、通用性好等优点.用此方法对制作微透镜的掩模进行了设计,利用预校正法和边缘增强法相结合的方法对掩模进行了优化,并对曝光、显影过程进行了模拟,得到了满意的结果.
Abstract
刘倩, 张怡霄, 郭永康, 刘波, 温圣林, 唐雄贵. 误差扩散法编码设计制作微光学元件[J]. 光电工程, 2006, 33(6): 106. 刘倩, 张怡霄, 郭永康, 刘波, 温圣林, 唐雄贵. Fabrication of micro optical elements with coding gray-tone mask designed by error-diffusion method[J]. Opto-Electronic Engineering, 2006, 33(6): 106.
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