光电工程, 2005, 32 (1): 85, 网络出版: 2007-11-14
表面等离子共振氢敏传感器理论和模拟
摘要
提出了一种钯(Pd)膜氢敏感表面等离子共振传感器结构,该传感器以镀在棱镜端面的Pd作为氢敏感膜.Pd膜吸氢以后发生化学反应,生成的PdHx使折射率发生变化,同时,它作为金属膜产生SPW,当折射率变化时又在金属和介质表面产生表面等离子共振.利用Fortran语言程序进行了表面等离子共振氢敏传感器的Pd膜厚度和传感器灵敏度数值模拟.氢气浓度的变化引起折射率的变化,数值模拟表明,表面等离子共振氢敏传感器的灵敏度与Pd膜厚度有关,当Pd膜的厚度在10-30nm时,氢气浓度在1%-10%范围内具有较高的灵敏度.这种传感器结构将?糜诩嗖馇馄魅剂系纳逃煤途没档那馄孤?
Abstract
胡建东, 文泓桥, 林志立. 表面等离子共振氢敏传感器理论和模拟[J]. 光电工程, 2005, 32(1): 85. 胡建东, 文泓桥, 林志立. [J]. Opto-Electronic Engineering, 2005, 32(1): 85.
PDF全文
