光电工程, 2005, 32 (3): 93, 网络出版: 2007-11-14
白光干涉谱数据处理的新方法
摘要
提出了一种基于动态均值滤波、二次曲线法解调和拟合法求光程差的数据处理新方法.与传统的算法比较,动态均值滤波避免了耗时的快速傅立叶变换,二次曲线法解调有更好的解调精度,拟合法求光程差可去除噪音较大的数据.新算法有快速、可使用的测量范围大和抗干扰能力强的优点.新方法可适用的白光干涉谱数据距离范围为10(m到100(m.在样品上采集到的白光干涉谱数据的对比度约为0.06、信噪比约为18dB.用新方法和传统方法分别对这些数据进行了处理.新方法处理结果的短期数据方差小于10nm,精度比常用方法好4倍.
Abstract
张秀达, 严惠民, 杜艳丽, 聂永军, 施柏煊. 白光干涉谱数据处理的新方法[J]. 光电工程, 2005, 32(3): 93. 张秀达, 严惠民, 杜艳丽, 聂永军, 施柏煊. [J]. Opto-Electronic Engineering, 2005, 32(3): 93.