光学与光电技术, 2006, 4 (2): 54, 网络出版: 2006-11-02
基于PSD的微小位移测量研究
Research of Small Displacement Measuring Based on PSD
摘要
介绍了一种新型的纳米精度光学测量系统.该系统结合半导体位置探测器件(PositionSensitive Detection,PSD)及现代计算机技术,利用激光在两平面镜间多次反射,将测量镜的纳米量级被测物位移放大到PSD能够分辨出的微米量级的位移,从而利用相对低精度的手段完成高精度的测量.实验表明此系统能够对微小位移进行放大测量,测量精度达到11.5 nm.
Abstract
曾为, 陈培锋, 李超. 基于PSD的微小位移测量研究[J]. 光学与光电技术, 2006, 4(2): 54. 曾为, 陈培锋, 李超. Research of Small Displacement Measuring Based on PSD[J]. OPTICS & OPTOELECTRONIC TECHNOLOGY, 2006, 4(2): 54.
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