光学 精密工程, 2006, 14 (2): 191, 网络出版: 2008-02-18
傅里叶变换红外光谱仪动镜倾斜误差分析
Error analysis of moving mirror in Fourier transform interferometer
摘要
通过建立傅里叶变换光谱仪中动镜、定镜和干涉面的坐标对应关系,对动镜存在多个方向倾斜时的干涉光路进行了详细的分析.建立了非准直状态下干涉面光强分布的二维数学模型,确立了干涉图函数的数学表达式,从调制度、相位误差和频率噪声的角度,对动镜倾斜造成的影响进行了系统分析.在动镜的运动中,左右方向的倾斜和俯仰方向的倾斜对系统的影响彼此具有独立性,又具有叠加性;干涉图中初相位因子随光程差改变缓慢变化或快速变化,对相位误差的影响也不全相同.在倾斜误差分析的基础上,对动镜的最大倾斜角度和减少误差的方法进行讨论,并提出了两种动态准直校正的思路.
Abstract
曾立波, 尹邦胜, 何冰, 龚丹. 傅里叶变换红外光谱仪动镜倾斜误差分析[J]. 光学 精密工程, 2006, 14(2): 191. 曾立波, 尹邦胜, 何冰, 龚丹. Error analysis of moving mirror in Fourier transform interferometer[J]. Optics and Precision Engineering, 2006, 14(2): 191.
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