光学 精密工程, 2006, 14 (4): 533, 网络出版: 2008-02-18
大口径高次、离轴非球面干涉测量中投影畸变的标定方法
Calibration method for projection distortion in interferometric testing high order and off-axis aspheric surface with big aperture
摘要
提出了运用干涉仪的Fiducial功能确定干涉仪CCD的测量坐标系与非球面镜面坐标系的对应关系,然后对两者关系进行正交化拟合,从而标定出非球面干涉检验中的投影畸变,并用于某高次、离轴非球面进行干涉检验中的投影畸变标定,拟合精度为1.964 53μm.根据标定结果对干涉测量面形图重构,进行了数控抛光实验,最终面形精度达到均方根值λ/20(λ=0.632 8 μm),证明拟合精度完全满足数控抛光的要求.
Abstract
李锐钢 郑立功 薛栋林 张学军. 大口径高次、离轴非球面干涉测量中投影畸变的标定方法[J]. 光学 精密工程, 2006, 14(4): 533. 李锐钢 郑立功 薛栋林 张学军. Calibration method for projection distortion in interferometric testing high order and off-axis aspheric surface with big aperture[J]. Optics and Precision Engineering, 2006, 14(4): 533.
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