光学 精密工程, 2004, 12 (3): 249, 网络出版: 2006-11-03  

一种抗灰尘的近场承载微工作台设计

作者单位
清华大学,精密仪器与机械学系,北京,100084
摘要
为满足近场光存储的高密度、高速度和集成化的要求,提高近场界面耦合效率,消除灰尘对固体浸没透镜(SIL)的磨损,设计了一种新型的承载微工作台,并建立了系统动力学模型.微工作台正负压力并存的结构极大地提高了承载刚度及工作稳定性;气垫面的V形轨道设计及独特的负压力布局有效减少了流入SIL底面的灰尘颗粒;SIL底面刻饰的凸台有利于获得较高的近场耦合效率,同时减小了与盘面碰撞的概率.理论分析和计算表明,微工作台的近场间距小于50 nm,承载力可达88 mN,SIL底面灰尘颗粒明显减少,微工作台具有良好的工作姿态,满足了近场光存储的需要.
Abstract

赵大鹏, 李庆祥, 李玉和, 訾艳阳, 王亮, 彭海成. 一种抗灰尘的近场承载微工作台设计[J]. 光学 精密工程, 2004, 12(3): 249. 赵大鹏, 李庆祥, 李玉和, 訾艳阳, 王亮, 彭海成. [J]. Optics and Precision Engineering, 2004, 12(3): 249.

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