光学 精密工程, 2004, 12 (3): 282, 网络出版: 2006-11-03  

小波变换及其在MEMS谐振器运动轨迹的特征提取中的应用

作者单位
1 天津大学,精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072
2 北京大学微电子学研究院,北京,100871
摘要
为测量微电机械系统(MEMS)谐振器的动态特性参数,根据MEMS谐振器运动图像的特点,将小波变换应用于MEMS谐振器运动轨迹的特征提取中.基于模糊图像合成技术,利用小波变换对MEMS谐振器的模糊运动图像进行了增强及降噪处理,并结合传统的图像处理方法,提取MEMS谐振器的运动轨迹,最终获得了MEMS谐振器的特性参数,从而可为MEMS器件的设计提供重要参考.实验结果表明,利用小波变换的方法获得了更好的测量精度,测量重复性误差为100nm.
Abstract

金翠云, 栗大超, 靳世久, 冯亚林, 李一博, 郝一龙. 小波变换及其在MEMS谐振器运动轨迹的特征提取中的应用[J]. 光学 精密工程, 2004, 12(3): 282. 金翠云, 栗大超, 靳世久, 冯亚林, 李一博, 郝一龙. [J]. Optics and Precision Engineering, 2004, 12(3): 282.

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