光学 精密工程, 2003, 11 (1): 75, 网络出版: 2006-11-03
非球面曲面光学零件超精密加工装备与技术
摘要
"Nanosys-300非球面曲面超精密复合加工系统"是 "九五"重点预研课题-"非球面曲面的超精密加工与测量技术"的主要研究成果.重点对非球面曲面光学零件超精密加工机床,非球面曲面光学零件超精密加工工艺,非球面曲面光学零件超精密测量技术进行了研究.其主要技术成果有:非球面超精密复合加工系统综合设计和制造技术,高速超精密空气静压主轴系统,超精密闭式液体静压导轨系统,高速超精密空气静压磨头电主轴系统,开放式高性能数控系统集成技术等.系统的精度检测和工艺实验表明其研究水平进入了国际先进行列.
Abstract
罗松保, 张建明. 非球面曲面光学零件超精密加工装备与技术[J]. 光学 精密工程, 2003, 11(1): 75. 罗松保, 张建明. [J]. Optics and Precision Engineering, 2003, 11(1): 75.
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