光学 精密工程, 2003, 11 (2): 144, 网络出版: 2006-11-03
离轴照明Schwarzschild投影物镜的计算机辅助装调方法
摘要
介绍计算机辅助装调方法在离轴照明EUVL光学系统中的应用,阐述了一种基于奇异值分解(SVD)的牛顿迭代法来求解失调量.利用该方法对敏感矩阵进行分解,从中分析得到影响不同像差的结构参数的敏感性,并筛选出补偿器,求出相应失调量的大小.在此基础上进行多次模拟装调,证明各种情况都是收敛的,可以实现精密装调的目的.
Abstract
林强, 金春水, 向鹏, 曹健林. 离轴照明Schwarzschild投影物镜的计算机辅助装调方法[J]. 光学 精密工程, 2003, 11(2): 144. 林强, 金春水, 向鹏, 曹健林. [J]. Optics and Precision Engineering, 2003, 11(2): 144.
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