红外技术, 2014, 36 (6): 439, 网络出版: 2014-06-30   

320×256锗基中波碲镉汞红外焦平面探测器研究

Analysis of MW 320×256 IRFPA Detector Based on MCT/Ge
作者单位
昆明物理研究所,云南昆明 650223
摘要
报道了分子束外延锗基中波碲镉汞薄膜材料以及 320×256锗基中波碲镉汞红外焦平面探测器研究的初步结果。利用分子束外延技术基于 3英寸锗衬底生长的中波碲镉汞薄膜材料,平均宏观缺陷密度低于 200 cm-2,平均半峰宽优于 90 arcsec,平均腐蚀坑密度低于 2.9×106 -2;采用标准的二代平面工艺制备的 320×256锗基中波碲镉汞红外焦平面探测器,平均峰值探cm测率达到 3.8×1011 cm.Hz1/2W-1,平均等效噪音温差优于 17.3 mK,非均匀性优于 6.5%,有效像元率高于 99.7%。
Abstract
MBE grown HgCdTe-on-Ge MW 320×256 IRFPA detector is investigated in this article. The macro-defect of 3 inch MW HgCdTe-on-Ge is lower than 200 cm-2, the FWHM is lower than 90 arcsec, and the EPD is lower than 2.9×106 cm-2. And the MW 320×256 IRFPA detector based on MCT/CT/Ge by the second standard plaint art is also introduced, with the D* better than 3.8×1011 cm.Hz1/2W-1, NETD lower than 17.3 mK, the non-uniformity of respond lower than 6.5%, and the operability higher than 99.7%.

赵俊, 杨玉林, 李艳辉, 杨春章, 谭英, 齐航, 韩福忠, 邢一山, 王羽, 王晓璇, 姬荣斌, 孔金丞. 320×256锗基中波碲镉汞红外焦平面探测器研究[J]. 红外技术, 2014, 36(6): 439. ZHAO Jun, YANG Yu-lin, LI Yan-hui, YANG Chun-zhang, TAN Ying, QI Hang, HAN Fu-zhong, XING Yi-shan, WANG Yu, WANG Xiao-xuan, JI Rong-bin, KONG Jin-cheng. Analysis of MW 320×256 IRFPA Detector Based on MCT/Ge[J]. Infrared Technology, 2014, 36(6): 439.

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