光学与光电技术, 2006, 4 (5): 70, 网络出版: 2007-05-23
环形透镜暗场落射照明系统设计及其焦移特性的研究
Design of Annular Lens Dark Field Vertical Illumination System and Its Focal Distance Offset Characteristics
摘要
环形透镜暗场落射照明系统越来越多被应用在特型显微镜上.该系统设计的难点是当采用现有的光学设计CAD软件设计计算时,由于环形透镜所具有的焦移特性的影响,难以保证预期的设计效果,也在一定程度上制约了该系统的推广应用.通过理论分析、实验论证和用自编制的照明设计CAD软件进行光线追迹,较好地确定了该系统的焦移量.并在此基础上提出了照明设计CAD与光学设计CAD软件互动迭代的设计方法.
Abstract
萧泽新, 高兴宇, 韦洋, 黄金龙. 环形透镜暗场落射照明系统设计及其焦移特性的研究[J]. 光学与光电技术, 2006, 4(5): 70. 萧泽新, 高兴宇, 韦洋, 黄金龙. Design of Annular Lens Dark Field Vertical Illumination System and Its Focal Distance Offset Characteristics[J]. OPTICS & OPTOELECTRONIC TECHNOLOGY, 2006, 4(5): 70.
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