光学 精密工程, 2007, 15 (1): 27, 网络出版: 2008-02-18   

改进的飞秒激光加工微型光波导方法

An improved way for fabricating micro-waveguide by femtosecond laser
作者单位
1 中国科学技术大学,精密机械与精密仪器系,安徽,合肥,230027
2 南开大学现代光学所,光电信息技术科学教育部重点实验室,天津,300071
摘要
分析了垂直式加工中加工区域光强分布不对称的原因,从理论上总结出改进这种不对称的方法.在分析了仅引入单个透镜就能实现这一改进的可行性后,实验验证了这种改进方法.未改进之前加工出的光波导其端口两个方向直径之比为10∶1,甚至更高;而改进后的比例则非常接近1∶1.通过对光强不对称的改进,该方法有光路简单,无能量损失的优势.
Abstract

龚小竞, 褚家如, 杨建军, 张铁群, 朱晓农. 改进的飞秒激光加工微型光波导方法[J]. 光学 精密工程, 2007, 15(1): 27. 龚小竞, 褚家如, 杨建军, 张铁群, 朱晓农. An improved way for fabricating micro-waveguide by femtosecond laser[J]. Optics and Precision Engineering, 2007, 15(1): 27.

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