光子学报, 2003, 32 (10): 1208, 网络出版: 2007-09-17
像散法对微位移和微振动的实时测量
An Astigmatic Method for Real-time Nanometer Vibration Measurement
摘要
提出了一种通过对光学像散量的检测来实现对物体的微位移和微振动进行实时非接触测量的新方法.该方法采用四象限光电探测器测量由于物体相对于光学系统焦点的偏离而引起的像散量,参照已标定的物体位置与像散量之间的关系,可计算出物体的实际位移或振幅.利用这套系统对压电陶瓷片的振动状态进行了测量,得到了振动的振幅及频率.测量结果表明,该系统的测量灵敏度优于17 nm.
Abstract
贺锋涛, 白永林, 冯晓强, 侯洵. 像散法对微位移和微振动的实时测量[J]. 光子学报, 2003, 32(10): 1208. 贺锋涛, 白永林, 冯晓强, 侯洵. An Astigmatic Method for Real-time Nanometer Vibration Measurement[J]. ACTA PHOTONICA SINICA, 2003, 32(10): 1208.
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