光子学报, 2007, 36 (5): 926, 网络出版: 2007-09-17
靶镜光学质量检测技术的研究
Optical Quality Measurement of Target Lens
摘要
提出了一种利用扫描型哈特曼检测装置检验靶镜光学质量的技术.该装置对传统哈特曼检验装置的光阑进行了改进,通过扫描型哈特曼光阑的旋转扫描,可对被检靶镜全口径范围内连续采样.利用该扫描型哈特曼检测装置对一块口径为φ270 mm的非球面靶镜的能量集中度和波像差进行了检验,其结果与激光数字波面干涉仪的测量结果相吻合,其中能量集中度的相对测量误差为7.7%,波像差的相对测量误差为10.2%,验证了该检测技术的有效性.
Abstract
刘丹, 黄惠杰, 任冰强, 徐德衍, 曾爱军, 王向朝. 靶镜光学质量检测技术的研究[J]. 光子学报, 2007, 36(5): 926. 刘丹, 黄惠杰, 任冰强, 徐德衍, 曾爱军, 王向朝. Optical Quality Measurement of Target Lens[J]. ACTA PHOTONICA SINICA, 2007, 36(5): 926.