激光技术, 2003, 27 (3): 211, 网络出版: 2007-09-18
硅各向异性腐蚀的微小谐振器的研制
Micro-resonator fabricated by anisotropic Si etching
摘要
研究了一种利用硅微结构直接作为模具制作微小固体染料激光器谐振腔.它采用了硅的深层反应离子刻蚀技术(deep-RIE)并结合硅的各向异性腐蚀技术(EPW),由于EPW 对〈110〉面有仅次于〈111〉面的腐蚀速率,可制造出具有光学镜面的侧壁面的硅模具.利用此模具可制成出四角形环型PMMA固态染料微小谐振腔.利用激光染料若丹明6G掺杂的聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA),在调Q Nd∶YAG自倍频激光532nm泵浦下,得到590nm波长附近的激光输出.
Abstract
李以贵, 贾书海, 陈迪, 杨春生. 硅各向异性腐蚀的微小谐振器的研制[J]. 激光技术, 2003, 27(3): 211. 李以贵, 贾书海, 陈迪, 杨春生. Micro-resonator fabricated by anisotropic Si etching[J]. Laser Technology, 2003, 27(3): 211.
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