光学 精密工程, 2007, 15 (4): 441, 网络出版: 2008-02-18
双光子三维微结构快速制备技术
High speed two-photon laser nanofabrication of three-dimensional microstructures
摘要
建立了一种利用双光子聚合技术快速制备三维微结构的方法,并对加工分辨率进行了研究.通过对高速扫描原理的研究,提出了采用二维振镜与一维压电微移动台相结合,利用跳跃和扫描协同的运动模式,以段段扫描方式进行三维微结构加工的系统来提高其加工速度.实验制备千里马和具有木堆结构的三维光子晶体结构说明,采用上述扫描方式可使其加工速度较点点扫描方式提高10倍至1 000倍.实验结果表明,使用一定的激光功率时,其加工分辨率随曝光时间减小而显著提高,实验得到了50 nm的线宽分辨率,超过文献报道的100 nm的最高值.研究还表明,上述加工方法可实现激光三维微结构的快速制备并具有高分辨率加工的特点.
Abstract
董贤子, 段宣明. 双光子三维微结构快速制备技术[J]. 光学 精密工程, 2007, 15(4): 441. 董贤子, 段宣明. High speed two-photon laser nanofabrication of three-dimensional microstructures[J]. Optics and Precision Engineering, 2007, 15(4): 441.
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