光学 精密工程, 2007, 15 (5): 735, 网络出版: 2008-02-18
UV-LIGA技术制备微型柔性镍接触探针
Fabrication of nickel soft contact microprobe based on UV-LIGA
摘要
对探针的制作方法、关键工艺环节等进行了分析与研究,给出了基于UV-LIGA技术制备微型柔性镍接触探针的工艺过程,分析了制备的技术关键,试验优选了关键制备环节的工艺参数,在此基础上,制作出微型柔性镍接触探针.试验结果表明:采用工艺条件优选的UV-LIGA技术,如前烘60 ℃,120 min,90 ℃,120 min;较大曝光剂量;后烘65 ℃,10 min,95 ℃,45 min;匀胶后静置、随炉冷却和超声辅助显影等辅助措施,所制备出的柔性接触探针(主体总长4 mm,宽80 μm,高100 μm;弹簧处高宽比为5(100 μm:20 μm))尺寸精度高;三角锥状针尖曲率半径小于5 μm;缺陷少,形貌质量高.
Abstract
明平美, 朱荻, 胡洋洋, 曾永彬. UV-LIGA技术制备微型柔性镍接触探针[J]. 光学 精密工程, 2007, 15(5): 735. 明平美, 朱荻, 胡洋洋, 曾永彬. Fabrication of nickel soft contact microprobe based on UV-LIGA[J]. Optics and Precision Engineering, 2007, 15(5): 735.