光学 精密工程, 2007, 15 (7): 997, 网络出版: 2008-02-18
化学刻蚀的光学元件面形修复
Form error of optical surface repaired by wet-etch figuring
摘要
采用化学加工方法对光学元器件进行面形加工,可以避免传统的抛光工艺带来的亚表面缺陷和表面污染.实验中利用Marangoni界面效应有效控制化学液的驻留时间和驻留面积,并通过数控系统实现编程控制加工,进行了面形修复实验,利用轮廓仪测量了加工前后的表面粗糙度.结果表明,采用拼接小去除量多次加工的方法,有效地降低了面形误差,面形值由1.32λ(λ=632 nm)减少到0.66λ,粗糙度基本维持不变.利用此实验装置使基片面形得到修复,避免了传统加工方式带来的亚表面缺陷等问题,有利于强激光系统的使用.
Abstract
项震, 侯晶, 聂传继, 许乔, 张清华, 王健, 李瑞洁. 化学刻蚀的光学元件面形修复[J]. 光学 精密工程, 2007, 15(7): 997. 项震, 侯晶, 聂传继, 许乔, 张清华, 王健, 李瑞洁. Form error of optical surface repaired by wet-etch figuring[J]. Optics and Precision Engineering, 2007, 15(7): 997.
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