光电工程, 2002, 29 (4): 43, 网络出版: 2007-11-14   

微机械自跟踪双坐标光电自准直仪的研究

Study on a two-dimension photoelectric autocollimator with micro-mechanical automatic tracking unit
作者单位
天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072
摘要
设计一种电磁驱动的微机械结构,实现自准直仪双坐标光电信号的自动跟踪,采用跟踪与读数分离的方法,提高仪器的测量精度.经实际测试和使用表明,设计方案合理,稳定可靠,双坐标工作范围为-100″~ +100″,仪器具有绝对零点,分辨力0.1″, 瞄准定位精度0.1″,非线性误差小于0.5″.
Abstract

林玉池, 洪昕, 赵美蓉. 微机械自跟踪双坐标光电自准直仪的研究[J]. 光电工程, 2002, 29(4): 43. 林玉池, 洪昕, 赵美蓉. Study on a two-dimension photoelectric autocollimator with micro-mechanical automatic tracking unit[J]. Opto-Electronic Engineering, 2002, 29(4): 43.

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