光电工程, 2003, 30 (4): 50, 网络出版: 2007-11-14
一种高分辨力、大行程微驱动压电马达
A piezomotor with high-resolution and large-stroke driving features
摘要
样机采用叠片式压电驱动器作为驱动源,利用一对夹爪与丝杠之间的惯性滑移效应实现纳米级微位移驱动,而用丝杠副实现自锁.微位移测量采用高精度电感式测微仪与光学干涉仪.样机平均位移分辨力为5～15nm,驱动力60N,行程15mm.分析表明,对性能的主要影响因素是驱动脉冲参数及丝杠的爬行现象,这为LSPM的进一步优化提供了依据.
Abstract
王皓, 凌宁, 曾志革. 一种高分辨力、大行程微驱动压电马达[J]. 光电工程, 2003, 30(4): 50. 王皓, 凌宁, 曾志革. A piezomotor with high-resolution and large-stroke driving features[J]. Opto-Electronic Engineering, 2003, 30(4): 50.
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