光子学报, 2002, 31 (5): 592, 网络出版: 2007-09-18  

多坐标激光干涉仪用于纳米定位系统中的研究

LASER-INTERFEROMETRIC MULTICOORDINATE NANOPOSITIONING SYSTEM
作者单位
西安交通大学先进制造研究所,西安,710049
摘要
提出了应用激光干涉量度(LM)系列多坐标激光干涉仪在纳米定位系统中进行同步定位检测,具有尺寸小、重量轻、光源与测量头分离的特点,完全消除了由于光源的震动、发热等因素对纳米定位系统的影响;它的测量分辨率高、测量范围大及本身带有智能分析环节,在IC(Integrated circuit)制造装备及微机械、生物芯片制造装备等方面的应用中,满足大空间范围和超高精度定位的要求,并且可以通过分布式CPU控制方式实现多坐标高速、同步实时定位.
Abstract

刘红忠, 赵万华, 李涤尘, 卢秉恒. 多坐标激光干涉仪用于纳米定位系统中的研究[J]. 光子学报, 2002, 31(5): 592. 刘红忠, 赵万华, 李涤尘, 卢秉恒. LASER-INTERFEROMETRIC MULTICOORDINATE NANOPOSITIONING SYSTEM[J]. ACTA PHOTONICA SINICA, 2002, 31(5): 592.

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