光子学报, 2003, 32 (6): 661, 网络出版: 2007-09-18
镜面起伏对1.55μm Si基MEMS光滤波器的影响
The Effect of Mirror Undulation on Optical Property of Si-base MEMS Optical Tunable Filter
摘要
用传输矩阵方法,在简化的光学模型基础上,分别讨论了分布式Bragg反射镜DBR (Distributed Bragg Reflector)的生长精度及镜面起伏对1.55 μm Si基MEMS (Micro-Electro- Mechanical-System)可调谐光滤波器透射谱的影响.计算表明:DBR生长误差仅使主透射峰位置发生变化,而镜面起伏是导致主透射峰性能劣化的主要原因,它使得FWHM增大,透射峰强度下降.理论计算结果能较好地解释实验现像.在此基础上,进一步讨论了引起镜面起伏的多种原因,并提出了可能的解决方法.
Abstract
左玉华, 毛容伟, 黄昌俊, 蔡晓, 李传波, 成步文, 罗丽萍, 高俊华, 白云霞, 姜磊, 马朝华, 王良臣, 余金中, 王启明. 镜面起伏对1.55μm Si基MEMS光滤波器的影响[J]. 光子学报, 2003, 32(6): 661. 左玉华, 毛容伟, 黄昌俊, 蔡晓, 李传波, 成步文, 罗丽萍, 高俊华, 白云霞, 姜磊, 马朝华, 王良臣, 余金中, 王启明. The Effect of Mirror Undulation on Optical Property of Si-base MEMS Optical Tunable Filter[J]. ACTA PHOTONICA SINICA, 2003, 32(6): 661.
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