光子学报, 2003, 32 (8): 969, 网络出版: 2007-09-18
干涉仪自适应抗振的空间移相术
Spatial Phase-shifting Method for Adaptive Vibration-resistant Interferometer
摘要
根据时域移相算法的概念,提出了一种空间移相术,它能够检测因外界振动导致条纹抖动而引起的干涉图样的空间相位变化.运用这种技术在Twyman-Green移相式干涉仪中建立了一套自适应抗振系统,它可以实时测量振动引起的相位变化大小,并通过反馈器件PZT实时校正干涉条纹的相位,使得干涉条纹稳定以保证光学测量的正常进行,与此同时PZT还作为移相器件.
Abstract
吴栋, 陈磊, 陈进榜, 朱日宏, 高志山. 干涉仪自适应抗振的空间移相术[J]. 光子学报, 2003, 32(8): 969. 吴栋, 陈磊, 陈进榜, 朱日宏, 高志山. Spatial Phase-shifting Method for Adaptive Vibration-resistant Interferometer[J]. ACTA PHOTONICA SINICA, 2003, 32(8): 969.