光电工程, 2007, 34 (9): 46, 网络出版: 2008-02-18
折叠式激光投影光刻物镜的设计研究 
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Design of fold laser projection lithography lens
摘要
针对大面积、高产量和节约型印制电路板(PCB)生产使用的激光投影光刻机,利用ZEMAX工程光学设计软件,对其投影系统进行了模拟设计与优化,并对优化后的结果进行了分析.对于设计的激光投影系统,其特征尺寸分辨力达到了9μm,全视场波像差小于λ/4,畸变小于0.000007%,这些指标符合实际要求.
Abstract
李文静, 周金运, 林清华. 折叠式激光投影光刻物镜的设计研究[J]. 光电工程, 2007, 34(9): 46. 李文静, 周金运, 林清华. Design of fold laser projection lithography lens[J]. Opto-Electronic Engineering, 2007, 34(9): 46.
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