光电工程, 2007, 34 (9): 84, 网络出版: 2008-02-18
应用光栅刻线与CCD测量运动位移的研究
Method for getting movement displacement using standard reticle and CCD
摘要
将计量光栅作为标准刻线,应用到对微细物体高精度定位的工作台上,并提出了一种新的直接获取运动位移的方法.调整光路使CCD获取清晰的光栅图像;对图像进行分析处理,计算出栅距与像素之间的映射关系:再对工作台移动前后的光栅图像进行对比,采用基于X-Y图的相位差比率算法获取像素位置差;从而计算出工作台的实际运行位移.实验结果表明,该方法能简单快速地实现微电子加工领域亚像素级的测量.
Abstract
王选择, 李海华, 杨练根. 应用光栅刻线与CCD测量运动位移的研究[J]. 光电工程, 2007, 34(9): 84. 王选择, 李海华, 杨练根. Method for getting movement displacement using standard reticle and CCD[J]. Opto-Electronic Engineering, 2007, 34(9): 84.
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