光学 精密工程, 2007, 15 (8): 1235, 网络出版: 2008-02-18
φ300 mm干涉仪参考镜的设计及测试
Design and test of reference mirror in φ300 mm interferometer
摘要
针对一台有效口径为300 mm的斐索立式移相干涉仪的参考镜,采用有限元方法对其水平状态不同支承方式下的表面变形进行了分析及优化设计,根据设计结果在对镜坯抛光时留出变形余量,并用液面基准法进一步验证了分析结果,其PV的差值为0.008 λ,RMS的差值为0.005 λ.实验结果表明,此干涉仪参考镜支撑结构的设计满足技术要求.
Abstract
武旭华, 陈磊, 王磊. φ300 mm干涉仪参考镜的设计及测试[J]. 光学 精密工程, 2007, 15(8): 1235. 武旭华, 陈磊, 王磊. Design and test of reference mirror in φ300 mm interferometer[J]. Optics and Precision Engineering, 2007, 15(8): 1235.