红外与激光工程, 2007, 36 (5): 708, 网络出版: 2008-02-18   

LBIC技术研究InGaAs线列探测器串音及光敏感区

Crosstalk and photoactive area of InGaAs linear detector by LBIC technique
作者单位
1 中国科学院上海技术物理研究所,传感技术国家重点实验室,上海,200083
2 中国科学院研究生院,北京,100039
摘要
利用激光诱导电流技术研究了InGaAs台面探测器的相邻探测器间的串音和光敏感区.用分子束外延方法生长掺杂InGaAs的PIN InP/InGaAs/InP外延材料,制备了256×1正照射台面InGaAs线列探测器.测试结果表明,InGaAs线列探测器相邻探测器间没有串音,虽然台面结构周围吸收层已被腐蚀,但因为少数载流子的侧向收集,扩大了有效光敏感区.
Abstract

吕衍秋, 乔辉, 韩冰, 唐恒敬, 吴小利, 李雪, 龚海梅. LBIC技术研究InGaAs线列探测器串音及光敏感区[J]. 红外与激光工程, 2007, 36(5): 708. 吕衍秋, 乔辉, 韩冰, 唐恒敬, 吴小利, 李雪, 龚海梅. Crosstalk and photoactive area of InGaAs linear detector by LBIC technique[J]. Infrared and Laser Engineering, 2007, 36(5): 708.

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