强激光与粒子束, 2007, 19 (9): 1507, 网络出版: 2008-02-18   

沉积温度对LaF3薄膜性能的影响

Influence of deposition temperature on properties of LaF3 coating
作者单位
1 中国科学院,上海光学精密机械研究所,上海,201800
2 中国科学院,研究生院,北京,100049
摘要
在189,255,277和321 ℃的沉积温度下用热舟蒸发方法制备了LaF3薄膜.通过X射线衍射(XRD)测试了薄膜的晶体结构;采用分光光度计测量了薄膜的透射光谱,并计算得到样品的折射率、消光系数和截止波长;利用光学干涉仪测试得到了薄膜的残余应力;采用三倍频Nd:YAG脉冲激光测试了薄膜的激光损伤阈值.结果表明:随沉积温度的提高,LaF3薄膜的结晶状况明显变好,晶粒尺寸逐渐变大;膜层变得更加致密,折射率变大,然而薄膜吸收变得严重,截止波段向长波漂移,同时薄膜的残余应力也增加,内应力在薄膜的残余应力中起着决定作用;薄膜的激光损伤阈值在高温制备时相对较高.
Abstract

余华, 崔云, 申雁鸣, 齐红基, 邵建达, 范正修. 沉积温度对LaF3薄膜性能的影响[J]. 强激光与粒子束, 2007, 19(9): 1507. 余华, 崔云, 申雁鸣, 齐红基, 邵建达, 范正修. Influence of deposition temperature on properties of LaF3 coating[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2007, 19(9): 1507.

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