光学 精密工程, 2007, 15 (12): 1959, 网络出版: 2008-07-08   

基于原子力显微镜的PMMA飞秒激光纳米加工

AFM based femto-second laser nanofabrication of PMMA
作者单位
1 中国科学技术大学精密机械与精密仪器系,安徽,合肥,230027
2 江苏大学,材料科学和工程学院,江苏,镇江,212013
摘要
介绍了一种基于原子力显微镜(AFM)的激光近场增强纳米加工方法.探讨了作为主要影响因素的激光场增强效应,用时域有限差分法对AFM探针下光场的空间分布进行了数值分析.研究了飞秒激光入射到AFM探针的PMMA材料的图形化,在PMMA材料表面加工了不同宽度的线条和字母.利用AFM对所得纳米图形进行了原位测试.在激光参数未经优化的情况下,其线宽可达100 nm,超过了实验室飞秒激光远场加工的分辨能力(200 nm).
Abstract

黄文浩, 朱兰芳, 陈宇航, 言峰, 周明, 王翔. 基于原子力显微镜的PMMA飞秒激光纳米加工[J]. 光学 精密工程, 2007, 15(12): 1959. 黄文浩, 朱兰芳, 陈宇航, 言峰, 周明, 王翔. AFM based femto-second laser nanofabrication of PMMA[J]. Optics and Precision Engineering, 2007, 15(12): 1959.

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