光子学报, 2008, 37 (1): 177, 网络出版: 2008-07-08
超分辨近场结构中Bubble微结构的远场光学特性分析
Analysis of Far-field Optical Property of Bubble in Super-resolution Near-field Structure Disk
摘要
以菲涅尔-基尔霍夫衍射理论为基础,建立了超分辨近场结构中Bubble微结构对高斯光束的衍射模型.分析了PtOx型超分辨近场结构(PtOx-Type-Super-RENS)中Bubble微结构的远场光学特性结果表明,设计的Bubble微结构形成过程的简化模型可基本反映超分辨近场结构中掩膜结构在激光作用下的结构变化过程,说明了高斯衍射模型是研究薄膜微结构变化的一种有效方法.
Abstract
瞿青玲, 王阳, 干福熹. 超分辨近场结构中Bubble微结构的远场光学特性分析[J]. 光子学报, 2008, 37(1): 177. 瞿青玲, 王阳, 干福熹. Analysis of Far-field Optical Property of Bubble in Super-resolution Near-field Structure Disk[J]. ACTA PHOTONICA SINICA, 2008, 37(1): 177.
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