光学仪器, 2006, 28 (6): 84, 网络出版: 2008-08-12
薄膜厚度和光学常数的主要测试方法
Test methods for film thickness and optical constants
摘要
准确地测量和控制薄膜厚度和光学常数等参数,在薄膜制备和分析和应用都是极为重要的.对薄膜的厚度和光学常数测试方法作了归纳和分类,并对几种主要的测试方法作了简要的介绍,分析了各自的特点及存在的问题.在测量薄膜的厚度和光学常数时,必须根据待测样品和测量精度要求选择合适的方法.
Abstract
陈燕平, 余飞鸿. 薄膜厚度和光学常数的主要测试方法[J]. 光学仪器, 2006, 28(6): 84. 陈燕平, 余飞鸿. Test methods for film thickness and optical constants[J]. Optical Instruments, 2006, 28(6): 84.
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