光学仪器, 2005, 27 (5): 128, 网络出版: 2008-08-12
基于原子力显微镜的薄膜厚度检测系统
A measuring system of film thickness based on atomic force microscope
摘要
研制了一种基于原子力显微镜的薄膜厚度检测系统.该系统首先绘制薄膜轮廓曲线,根据曲线找到薄膜边界,然后计算镀膜区与无膜区的高度差,得到薄膜厚度.跟台阶仪、光学轮廓仪相比,该系统具有操作简单、抗干扰能力强、精度高的优点.实验表明.该系统有很高的重复性,能够精确测量各种不同性质的薄膜的厚度.
Abstract
赵君臣, 章海军, 张冬仙. 基于原子力显微镜的薄膜厚度检测系统[J]. 光学仪器, 2005, 27(5): 128. 赵君臣, 章海军, 张冬仙. A measuring system of film thickness based on atomic force microscope[J]. Optical Instruments, 2005, 27(5): 128.
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