光学仪器, 2005, 27 (5): 132, 网络出版: 2008-08-12
氧化硅亚微米纳米线光波导的制备
The fabrication of silica submicrometre or nanometre optical waveguide
摘要
介绍一种新的氧化硅亚微米纳米线光波导的制备方法.使用这种方法制备出的光波导具有良好的直径均匀性和表面粗糙度,满足低损耗传输的要求.纳米级的尺寸以及独特的光学特性,使得亚微米纳米线光波导在亚波长结构的微电子、光电子及光子器件中具有较好的应用前景.
Abstract
姜玲玲, 隋成华, 姜吉光. 氧化硅亚微米纳米线光波导的制备[J]. 光学仪器, 2005, 27(5): 132. 姜玲玲, 隋成华, 姜吉光. The fabrication of silica submicrometre or nanometre optical waveguide[J]. Optical Instruments, 2005, 27(5): 132.
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