光学仪器, 2006, 28 (4): 124, 网络出版: 2008-08-12
组合镀膜法制备集成滤光片列阵
Integrated filter array fabricated by using the combinatorial deposition technique
摘要
为实现集成滤光片列阵在单片衬底上的高效制备,提出组合镀膜法,通过磁控反应溅射,以Nb2O5和SiO2为介质材料,仅通过8次镀膜就成功制备出了集成64通道的滤光片面阵.滤光片面阵的总体尺寸只有12mm×12mm,各个滤光片通道基本呈线性分布在720.5nm～877.2nm之间,带宽在1.82nm～3.92nm之间.结果表明,组合镀膜法是一种高效的集成滤光片列阵制备方法.
Abstract
王少伟, 李明, 夏长生, 王海千, 陈效双, 陆卫. 组合镀膜法制备集成滤光片列阵[J]. 光学仪器, 2006, 28(4): 124. 王少伟, 李明, 夏长生, 王海千, 陈效双, 陆卫. Integrated filter array fabricated by using the combinatorial deposition technique[J]. Optical Instruments, 2006, 28(4): 124.
PDF全文
