研究了不同驱动方式下微流体陀螺仪敏感信号的检测方法及其特性.介绍了陀螺仪的工作原理,给出了两种驱动方式下的信号检测方案.直流电压驱动时,敏感到直流流速,经过差动电桥放大后,可得输出电压.交流电压驱动时,敏感到交流流速,用相干检测方法提取有用信号,通过低通滤波、放大,最终得到正比于外界输入角速度的直流电压.实验数据分析可得:交流电压驱动时,输出信号的标度因数为17.05 μV/(°)S-1,标度因数非线性为5.725%,标度因数对称性为4.52%,零偏及零偏稳定性为1 066°/s和14.3°/s;直流驱动时指标分别为400.8 μV/(°)s-1、12.129%、15.29%、4 803°/s和43.5°/s.结果表明:从综合指标方面看交流电压驱动方式和相关检测方案下测量效果最佳.

作者简介：苏岩(1967-),男,江苏苏州人,教授,工学博士,主要研究方向为MEMS惯性技术.E-mail:suyan@mail.njust.edu.cn