红外与激光工程, 2008, 37 (1): 119, 网络出版: 2008-08-17
利用多层表面微结构提高DOE宽波段衍射效率
Improving diffraction efficiency of DOE in wide waveband application by multilayer micro-structure
摘要
针对单层衍射光学元件的不足,介绍了一种新型的多层衍射光学元件,通过层叠多个具有不同材料色散特性与相位高度的单层表面微结构,增加元件相位分布函数中的可变因子,实现波段内各波长光波的等效相位调制等于或接近2π的整数倍,双层衍射光学元件在0.4~0.8μm可见光波段的理论衍射效率可以达到96%以上.利用双层衍射光学元件替代萤石透镜校正混合光学系统的二级光谱,设计并制作了一套长焦距物镜,并利用系统调制传递函数评价了多层衍射光学元件衍射效率,测试结果表明衍射效率在整个设计波段内以较高的数值平均分布.
Abstract
作者简介:沈亦兵(1961-)男,浙江杭州人,教授,博士生作者,博士,主要从事微光学、光刻技术等的研究.Email:edeoco@moi-lab2.zju.edu.cn
马韬, 沈亦兵, 杨国光. 利用多层表面微结构提高DOE宽波段衍射效率[J]. 红外与激光工程, 2008, 37(1): 119. 马韬, 沈亦兵, 杨国光. Improving diffraction efficiency of DOE in wide waveband application by multilayer micro-structure[J]. Infrared and Laser Engineering, 2008, 37(1): 119.