红外与激光工程, 2008, 37 (2): 261, 网络出版: 2008-08-17
光导型碲镉汞探测器的氢化研究
Hydrogenation on HgCdTe photoconductive detectors
摘要
为了提高碲镉汞红外探测器的性能,对ZnS钝化的碲镉汞光导型探测器进行了氢化处理研究,发现处理效果与氢等离子体密度和ZnS钝化层的厚度密切相关.对于ZnS层厚度固定的器件,通过改变氢等离子体密度发现低等离子体密度条件氢化处理更有利于提高器件的性能,表现在处理后器件响应信号提高且噪声下降,从光谱响应上表现为器件短波方向的响应抬高;对于同样的氢化处理条件,通过改变ZnS钝化层的厚度,发现具有较大厚度ZnS层的器件的氢化效果更好.SIMS测试发现氢化过程中氢离子可以穿过ZnS层到达znS与碲镉汞的界面处,分析认为氢离子对界面态起到了钝化作用,降低了界面态密度,提高了器件的性能.
Abstract
乔辉, 周文洪, 叶振华, 李向阳, 龚海梅. 光导型碲镉汞探测器的氢化研究[J]. 红外与激光工程, 2008, 37(2): 261. 乔辉, 周文洪, 叶振华, 李向阳, 龚海梅. Hydrogenation on HgCdTe photoconductive detectors[J]. Infrared and Laser Engineering, 2008, 37(2): 261.
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