红外与毫米波学报, 2008, 27 (3): 224, 网络出版: 2008-08-17
PZT铁电薄膜的低温原位生长
IN-SITU DEPOSITION OF PZT FERROELECTRIC THIN FILMS AT LOW TEMPERATURE
摘要
在溅射法预制备的LaNiO3/Si基片上,用射频溅射法在较低的衬底温度(235～310℃)和纯Ar气氛中原位生长Pb(Zr0.52Ti0.48)O3(PZT)薄膜.通过优化溅射功率、基片温度等工艺,最后在260℃的较低基片温度上成功制备出具有良好铁电性的PZT薄膜.使用X射线衍射(XRD)测试样品的结构,原子力显微镜观察其表面形貌,TD-88A标准铁电测试系统测试样品(Ar/PZT/LNO结构)的铁电性能.结果表明:(1)溅射功率110W,基片温度260℃时,原位沉积的PZT呈(111)、(200)取向;(2)上述工艺制备的PZT薄膜展现良好的铁电性,在5V测试电压时,其剩余极化为23.1uc/cm2,漏电流密度为1.34×10-4A/cm2.
Abstract
王震东, 赖珍荃, 范定寰, 张景基, 黄奇辉. PZT铁电薄膜的低温原位生长[J]. 红外与毫米波学报, 2008, 27(3): 224. 王震东, 赖珍荃, 范定寰, 张景基, 黄奇辉. IN-SITU DEPOSITION OF PZT FERROELECTRIC THIN FILMS AT LOW TEMPERATURE[J]. Journal of Infrared and Millimeter Waves, 2008, 27(3): 224.
PDF全文
