中国激光, 2009, 36 (s2): 83, 网络出版: 2009-12-30  

基于绝缘体上硅和溶胶-凝胶杂化SiO2模斑转换器的研究

Study of Spot-Size Converter Based on Silicon-on-Insulator and Hybrid Sol-Gel SiO2
作者单位
中国科学院 半导体研究所 光电子研发中心,北京 100083
摘要
为了提高基于绝缘体上硅(Silicon on insulator,SOI)的Si微纳波导器件和光纤的耦合效率,设计了一种基于SOI和溶胶-凝胶杂化SiO2材料的新型微纳倒锥波导模斑转换器。此模斑转换器由Si微纳倒锥波导和溶胶-凝胶杂化SiO2矩形波导组成。使用三维束传播法(3D-BPM)对器件结构进行模拟优化。在倒锥波导模斑转换器的连接下,波长1550 nm,近似TE模的光源下的模拟结果显示:单模光纤和SOI的Si微纳波导的耦合效率达到了95%(损耗低于0.22 dB),结果可以有效地满足微纳波导器件和光纤的低损耗耦合的需要。
Abstract
In order to improve the coupling efficiency between the single-mode fiber and the nano-silicon-wire waveguide in silicon-on-insulator (SOI),a novel tapered spot-size converter (SSC) is designed,which is constructed with a tapered silicon waveguide and an overlaid rectangular hybrid sol-gel SiO2 waveguide. Simulation analysis,which is performed with the three-dimensional beam propagation method (3D-BPM) at λ=1550 nm with semi-TE polarization,shows that the coupling efficiency can be up to 95% (loss of 0.22 dB),which is very promising for high coupling efficiency between the single-mode fiber and the nano-silicon-wire waveguide.

尹小杰, 吴远大, 王玥, 张家顺, 李建光, 胡雄伟. 基于绝缘体上硅和溶胶-凝胶杂化SiO2模斑转换器的研究[J]. 中国激光, 2009, 36(s2): 83. Yin Xiaojie, Wu Yuanda, Wang Yue, Zhang Jiashun, Li Jianguang, Hu Xiongwei. Study of Spot-Size Converter Based on Silicon-on-Insulator and Hybrid Sol-Gel SiO2[J]. Chinese Journal of Lasers, 2009, 36(s2): 83.

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