光子学报, 2009, 38 (4): 928, 网络出版: 2010-05-10  

傅里叶变换轮廓术中物体高度最佳恢复条件

Optimum Restoration Condition of Object Height in Fourier Transformation Profilometry
作者单位
1 湖南文理学院 物理与电子科学学院,湖南常德 415000
2 电子科技大学 光电信息学院,成都 610054
3 重庆文理学院 物理与信息工程系,重庆 402168
摘要
在分析傅里叶变换轮廓术中传统的高度与相位关系的基础上,推出了高度与相位的普通关系式,提出了物体高度最佳恢复条件的新理论,给出了简单的物理解释.由此得出结论:物体高度最佳恢复时的几何参量α(双瞳连线与参考面夹角)大小与系统几何结构参量a、b有关.计算机仿真验证了:当a=600 mm、b=3 000 mm时,可得物体高度最佳恢复时的α=arcsin (1/5),此时所得的标准差为0.269 7;作为对比:当α=0时,所得的标准差为0.295 6.实验验证了:α=arcsin (1/5)时的恢复效果比α=0时的恢复效果更好些.
Abstract
Based on analyzing the traditional relationship between height and phase in the Fourier transformation profilometry,the common relation between height and phase was deduced.The new theory of optimum restoration condition of object height was presented,and its simple physical explain was given.The conclusion was obtained:the geometry parameter α (the included angle between the linked line of tow pupils and the reference plane ) of optimum restoration of object height has relations with geometry structure parameter a、b.The result was verified by computer simulation:α=arcsin (1/5) is optimum restoration condition of object height when a=600 mm,b=3 000 mm; and its standard error is 0.269 7,while it is 0.295 6 when α=0.The result of experiment verifies that:when the α=arcsin (1/5),the result is better than that of the α=0.

乔闹生, 姚春梅, 赵华君, 蔡新华. 傅里叶变换轮廓术中物体高度最佳恢复条件[J]. 光子学报, 2009, 38(4): 928. QIAO Nao-sheng, YAO Chun-mei, ZHAO Hua-jun, CAI Xin-hua. Optimum Restoration Condition of Object Height in Fourier Transformation Profilometry[J]. ACTA PHOTONICA SINICA, 2009, 38(4): 928.

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