光子学报, 2010, 39 (4): 584, 网络出版: 2010-05-24   

飞秒激光制造微型光纤法布里-珀罗干涉传感器

Fabricating Micro Fiber Fabry-Perot Sensor with Femtosecond Laser Pulses
吴易明 1,2李明 2,3,*程光华 1,2
作者单位
1 中国科学院西安光学精密机械研究所光学定向与瞄准技术研究室,西安 710119
2 中国科学院研究生院,北京 100049
3 中国科学院西安光学精密机械研究所瞬态光学与光子技术国家重点实验室,西安 710119
摘要
基于飞秒激光光刻技术,提出了光纤端面光刻制造微型光纤法布里-珀罗干涉传感器的方案.该方案解决了传统飞秒激光制造光纤F-P传感器的平行度差的问题,制造了对比度超过20 dB的高灵敏度和高分辨率的微型F-P光纤传感器件.该制造方法简单、参量可控,制作的器件可应用恶劣温度条件下应变的精确测量.
Abstract
Based on femtosecond laser inscription technology,a novel method for femtosecond laser micromachining system is proposed to fabricate a microfiber Fabry-Perot (F-P) cavity on the fiber end surface.This technique can solve the parallelism problem of the traditional fiber F-P sensors inscribed by femtosecond laser.The F-P interferometric sensor made by the proposed technique shows over 20 dB fringe visibility.This technique is parameter-controllable and easy to implement.It is a promising candidate of strain measurement in the case of extreme temperature circumstances.

吴易明, 李明, 程光华. 飞秒激光制造微型光纤法布里-珀罗干涉传感器[J]. 光子学报, 2010, 39(4): 584. WU Yi-ming, LI Ming, CHENG Guang-hua. Fabricating Micro Fiber Fabry-Perot Sensor with Femtosecond Laser Pulses[J]. ACTA PHOTONICA SINICA, 2010, 39(4): 584.

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