光电技术应用, 2011, 26 (4): 14, 网络出版: 2011-09-09   

双振镜激光扫描的误差分析及校正方法

Error Analysis and Correction Methods of Dual Galvanometer Scanning
作者单位
1 空军工程大学, 陕西 西安 710077
2 西安通信学院, 陕西 西安 710106
摘要
近年来,二维振镜激光扫描技术因其速度快、精度高、易于控制等特点,得到了越来越广泛的应用。但振镜扫描系统在扫描过程中,存在着固有扫描场的几何畸变,系统本身也存在着线性、非线性误差以及其他误差等,严重影响了振镜扫描系统在不同应用领域的扫描质量。从理论推导出发,较为详细地分析了物镜前扫描和物镜后扫描两种方式存在的几何畸变以及各种误差,并提出了针对性的补偿方法。在对各种误差理论分析的基础上,对校正思路进行了展望,提出了一些看法和建议。
Abstract
The two-dimensional laser galvanometer technology is widely used for the characters of high speed,high precision and good controllability. Due to the intrinsic geometric distortion on the scanning field, and linear,nonlinear and other errors of the system,the scanning quality of the laser galvanometer system is seriously affected in different application fields. The geometric distortion and various errors are profoundly analyzed about the pre-object and post-object scanning models,and the pertinence compensation methods are advanced too. Some views and suggestions are put forward,the correction methods are also conceived on the basis of the theoretical analysis about various errors.

韩万鹏, 蒙文, 李云霞, 李大为, 周嘉. 双振镜激光扫描的误差分析及校正方法[J]. 光电技术应用, 2011, 26(4): 14. HAN Wan-peng, MENG Wen, LI Yun-xia, LI Da-wei, ZHOU Jia. Error Analysis and Correction Methods of Dual Galvanometer Scanning[J]. Electro-Optic Technology Application, 2011, 26(4): 14.

本文已被 3 篇论文引用
被引统计数据来源于中国光学期刊网
引用该论文: TXT   |   EndNote

相关论文

加载中...

关于本站 Cookie 的使用提示

中国光学期刊网使用基于 cookie 的技术来更好地为您提供各项服务,点击此处了解我们的隐私策略。 如您需继续使用本网站,请您授权我们使用本地 cookie 来保存部分信息。
全站搜索
您最值得信赖的光电行业旗舰网络服务平台!