应用激光, 2011, 31 (3): 228, 网络出版: 2011-10-13   

紫外激光精细加工应用研究

Application of UV Laser Micro-Processing
骆公序 1,2陈俊 1,2王国庆 1,2潘涌 1,2姜兆华 1,2
作者单位
1 上海市激光技术研究所, 上海 200233
2 上海市激光束精细加工重点实验室, 上海 200233
摘要
采用纳秒级紫外 DPSS激光和具有机器视觉定位功能的多轴高精度加工系统, 对不锈钢、镍片、铍铜、聚酰亚胺等多种材料进行切割和打孔试验。通过调节离焦量、扫描速度、扫描次数, 实现了 0.1 mm的金属薄板和聚合物薄膜的加工, 取得了切缝光滑的加工效果, 并且具有加工精度高、热效应小等特点。对不同材料的作用机理和工艺实验结果进行了分析, 结果表明, 紫外 DPSS激光在铜类材料和聚合物类材料的加工上具有优势。
Abstract
In this paper, nanosecond UV DPSS laser with multi-axis machine vision precision positioning machining system has beenused for cutting and drilling the materials of stainless steel, nickel plate, beryllium copper, and polyimide. By adjusting the defocusingdistance, scan speed, scan times, to achieve the 0.1mm thick metal sheet and polymer film processing, has gottena smooth kerfprocessing effects with high precison and minimal heat -affected zones. Mechanism of different materials and process experimentalresults were analyzed, the results show that UV DPSS laser has the advantages in processing copper-like materials and polymer-likematerials

骆公序, 陈俊, 王国庆, 潘涌, 姜兆华. 紫外激光精细加工应用研究[J]. 应用激光, 2011, 31(3): 228. Luo Gongxu, Chen Jun, Wang Guoqing, Pan Yong, Jiang Zhaohua. Application of UV Laser Micro-Processing[J]. APPLIED LASER, 2011, 31(3): 228.

本文已被 2 篇论文引用
被引统计数据来源于中国光学期刊网
引用该论文: TXT   |   EndNote

相关论文

加载中...

关于本站 Cookie 的使用提示

中国光学期刊网使用基于 cookie 的技术来更好地为您提供各项服务,点击此处了解我们的隐私策略。 如您需继续使用本网站,请您授权我们使用本地 cookie 来保存部分信息。
全站搜索
您最值得信赖的光电行业旗舰网络服务平台!