半导体光电, 2012, 33 (1): 7, 网络出版: 2012-04-20   

平面型APD抑制边缘击穿的方法研究

Research on Methods of Edge Breakdown Suppression of Planar Avalanche Photodiode
作者单位
中国科学院半导体研究所 光电子研发中心,北京 100083
摘要
雪崩光电二极管(APD)作为一种具有内部增益的光电探测器,被广泛地应用于光纤通信领域,其中平面型APD具有暗电流低、可靠性高等优点而被大量研究。但是平面型APD边缘处由于高电场易被提前击穿,影响器件性能。文章对抑制平面型APD边缘击穿的不同方法进行了综述,指出它们的结构差别,并重点介绍保护环法的原理及保护环各个参数的优化。
Abstract
Avalanche photodiode, as a kind of photodetector with internal gain, is widely used in optical fiber communication, of which planar APD attracts great attention for the advantages of low dark current and high reliability. But planar APD may break down first at the edge for the high electric field, which will decrease the devices properties. In this article, different methods for preventing edge breakdown of planar APD were discussed and the differences are analyzed. The theory and parameter optimization of the method of guard ring is introduced with emphasis.

杨怀伟, 韩勤, 杨晓红, 李彬, 王秀平, 王杰, 刘少卿. 平面型APD抑制边缘击穿的方法研究[J]. 半导体光电, 2012, 33(1): 7. YANG Huaiwei, HAN Qin, YANG Xiaohong, LI Bin, WANG Xiuping, WANG Jie, LIU Shaoqing. Research on Methods of Edge Breakdown Suppression of Planar Avalanche Photodiode[J]. Semiconductor Optoelectronics, 2012, 33(1): 7.

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