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高速InP基半导体电光调制器行波电极结构研究

Design of Traveling-wave Electrodes for High-speed InP-based Semiconductor Electro-optic Modulators

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摘要

对PIN型和NIN型两种InP基Mach-Zehnder电光调制器的电极结构进行了数值仿真研究, 从而确定出适于这两种电光调制器的行波电极结构。仿真结果表明, NIN型电光调制器可采用简单的单臂类微带电极, 而PIN型电光调制器需采用周期容性负载电极, 以达到良好的阻抗匹配特性和传输特性。进一步地, 提出了将串联推挽式行波电极结构应用于PIN型电光调制器, 可以简化制作工艺并获得良好的微波特性。

Abstract

Traveling-wave electrode configurations suitable for PIN- and NIN-type InP-based Mach-Zehnder electro-optic modulators are studied through numerical simulations. The results indicate that good microwave performance can be secured for NIN-type modulator with microstrip electrodes and PIN-type modulator with capacitively-loaded traveling-wave electrodes. Meanwhile, a series push-pull electrode for PIN-type modulator is proposed to simplify the fabrication process as well as improving the microwave performance.

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补充资料

中图分类号:TN256

所属栏目:光电器件

基金项目:国家“973”计划项目(2012CB315605, 2011CB301900); 国家“863”计划项目(2011AA03A112, 2011AA03A106, 2011AA03A105); 国家科技支撑计划项目(2011BAE01B07); 国家自然科学基金项目(61176015, 60723002, 61176059, 60977022, 51002085); 北京市自然科学基金项目(4091001).

收稿日期:2012-04-16

修改稿日期:--

网络出版日期:--

作者单位    点击查看

郭丽丽:清华大学 信息科学与技术国家实验室(筹), 北京 100084
孙长征:清华大学 信息科学与技术国家实验室(筹), 北京 100084
熊兵:清华大学 信息科学与技术国家实验室(筹), 北京 100084
罗毅:清华大学 信息科学与技术国家实验室(筹), 北京 100084

联系人作者:郭丽丽(gll09@mails.tsinghua.edu.cn)

备注:郭丽丽(1986-), 女, 硕士研究生, 主要从事高性能半导体电光调制器的研究。

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引用该论文

GUO Lili,SUN Changzheng,XIONG Bing,LUO Yi. Design of Traveling-wave Electrodes for High-speed InP-based Semiconductor Electro-optic Modulators[J]. Semiconductor Optoelectronics, 2012, 33(6): 791-794

郭丽丽,孙长征,熊兵,罗毅. 高速InP基半导体电光调制器行波电极结构研究[J]. 半导体光电, 2012, 33(6): 791-794

被引情况

【1】赵丽亚,王乐,杨妍,刘克. InP基矩形马赫-曾德高速电光调制器行波电极设计与测试. 光子学报, 2017, 46(5): 523002--1

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